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行業(yè)動(dòng)態(tài)

【行業(yè)動(dòng)態(tài)】劉忠范院士團(tuán)隊(duì)Sci. Adv.:晶圓尺寸準(zhǔn)單晶石墨烯薄膜的直接生長(zhǎng)


發(fā)布時(shí)間:2021年11月25日 發(fā)布作者: 青創(chuàng)伯樂 文章來源: 互聯(lián)網(wǎng)




第一作者:陳召龍

通訊作者:劉忠范,孫婧宇,Kostya S. Novoselov,高鵬,張艷鋒,楊身元

通訊單位:北京大學(xué),北京石墨烯研究院,新加坡國立大學(xué),中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所

 

 

研究背景

晶圓尺寸絕緣襯底上無破損、高品質(zhì)石墨烯薄膜的獲得對(duì)于實(shí)現(xiàn)其在電學(xué)、光學(xué)與光電器件方面的應(yīng)用至關(guān)重要。盡管過去十年在金屬襯底上高品質(zhì)單晶石墨烯的可控制備方面取得了一些進(jìn)展,但晶圓尺寸絕緣襯底上高品質(zhì)石墨烯的直接生長(zhǎng)依舊存在很大挑戰(zhàn)。表現(xiàn)為絕緣襯底催化活性較弱,碳源前驅(qū)體在其表面的的裂解勢(shì)壘與遷移勢(shì)壘很高,而且石墨烯島在絕緣襯底表面難以實(shí)現(xiàn)取向一致。這就使得石墨烯在絕緣襯底上的生長(zhǎng)速度非常緩慢,而且獲得的石墨烯具有很高的點(diǎn)缺陷密度、大量的晶界和無定型碳污染,嚴(yán)重降低石墨烯載流子遷移率和電導(dǎo)率。因此,如何在絕緣襯底上快速生長(zhǎng)出取向一致的石墨烯島,并增大單個(gè)晶疇尺寸,在晶圓尺寸內(nèi)形成連續(xù)均勻的單層薄膜亟待解決。

 

成果簡(jiǎn)介

近日,北京大學(xué)劉忠范院士團(tuán)隊(duì)自主設(shè)計(jì)研發(fā)了電磁感應(yīng)加熱石墨烯甚高溫生長(zhǎng)設(shè)備,并借助此設(shè)備在 c 面藍(lán)寶石上直接生長(zhǎng)出了由取向高度一致、大晶疇拼接而成的晶圓尺寸單層石墨烯薄膜。

 

他們通過優(yōu)化生長(zhǎng)過程,使得在動(dòng)力學(xué)和熱力學(xué)方面都有利于絕緣襯底上高質(zhì)量石墨烯的生長(zhǎng):研發(fā)的石墨烯生長(zhǎng)設(shè)備所提供的甚高溫生長(zhǎng)環(huán)境克服了碳源較高的熱裂解勢(shì)壘和遷移勢(shì)壘,這保證了碳源的有效裂解和活性碳物種在表面的快速遷移;高溫還有助于石墨烯-Al2O3 (0001) 界面達(dá)到其最低能量構(gòu)象,以實(shí)現(xiàn)石墨烯島的取向一致;與此同時(shí)特殊的冷壁設(shè)計(jì),降低了氣相溫度,抑制了形成無定型碳和多層成核的副反應(yīng)。因此,在 30 分鐘內(nèi)就可以獲得晶圓級(jí)高質(zhì)量單層石墨烯,它具有較高的載流子遷移率(~14,700 cmV-1 s-1)和較低的方塊電阻(~587 Ω/□)。該成果以“Direct growth of wafer-scale highly-oriented graphene on sapphire”為題發(fā)表在Science Advances上。

 

要點(diǎn)1:藍(lán)寶石對(duì)石墨烯的取向誘導(dǎo)


 

圖1. 藍(lán)寶石(0001)面對(duì)石墨烯的取向誘導(dǎo)作用機(jī)制。(A) 感應(yīng)加熱石墨烯甚高溫生長(zhǎng)設(shè)備示意圖;(B, C) 反應(yīng)腔室溫度模擬分布;(D) 石墨烯納米島在Al2O3 (0001) 面上的最優(yōu)構(gòu)象;(E) 不同旋轉(zhuǎn)角度下石墨烯納米島與Al2O3 (0001)的相對(duì)能量。
 

作者設(shè)計(jì)搭建了石墨烯甚高溫生長(zhǎng)設(shè)備,它可以在短時(shí)間內(nèi)升溫至1400℃,并且高溫可以被局域在生長(zhǎng)襯底附近,氣相溫度很低。通過第一性原理計(jì)算發(fā)現(xiàn),石墨烯與藍(lán)寶石之間存在優(yōu)勢(shì)取向,當(dāng)石墨烯相對(duì)于藍(lán)寶石旋轉(zhuǎn)30°時(shí)能量最低。在此,甚高溫設(shè)備所提供的高溫環(huán)境將有助于石墨烯在藍(lán)寶石表面達(dá)到最佳構(gòu)象,實(shí)現(xiàn)取向高度一致。

 

要點(diǎn)2:晶圓尺寸準(zhǔn)單晶石墨烯的表征


 

圖2. 晶圓尺寸單層石墨烯的表征。(A) 石墨烯/藍(lán)寶石晶圓的實(shí)物照片;(B) 石墨烯薄膜的典型 SEM 圖像;(C) 石墨烯薄膜的拉曼光譜;(D) 石墨烯薄膜的拉曼 I2D/IG mapping圖;(E) 石墨烯在轉(zhuǎn)移到 SiO2/Si 襯底上的光學(xué)顯微鏡圖;(F) 轉(zhuǎn)移到 SiO2/Si 襯底上石墨烯的原子力顯微鏡高度圖;(G) 石墨烯/藍(lán)寶石界面的透射電子顯微鏡圖。

 

作者基于石墨烯的甚高溫生長(zhǎng)設(shè)備實(shí)現(xiàn)了均勻、滿單層、高質(zhì)量石墨烯薄膜的生長(zhǎng)。在晶圓不同位置處所采集的拉曼光譜中幾乎一致,且沒有缺陷峰,證明所生長(zhǎng)的晶圓尺寸石墨烯薄膜具有很好的均勻性和結(jié)晶性。光學(xué)顯微鏡、原子力顯微鏡、透射電鏡均證明石墨烯具有很好的單層特性。

 


圖3. 晶圓尺寸單層石墨烯的取向表征。(A-D) 石墨烯/藍(lán)寶石的低能電子衍射圖案;(E-H) 石墨烯薄膜的透射電鏡表征;(I-L) 石墨烯/藍(lán)寶石掃描隧道顯微鏡圖與掃描隧道譜。

 

作者首先通過低能電子衍射在大尺寸范圍(毫米)內(nèi)證明藍(lán)寶石襯底上生長(zhǎng)的石墨烯薄膜是由取向高度一致的晶疇拼接而成;然后通過選區(qū)電子衍射在較小尺寸范圍內(nèi)(百納米)證明石墨烯具有很高的結(jié)晶性和取向高度一致性;掃描隧道顯微鏡在微觀尺度(數(shù)納米)進(jìn)一步證明石墨烯的取向是幾乎一致的。

 

要點(diǎn)3:石墨烯薄膜的電學(xué)表征


 

圖4. 該方法獲得的石墨烯薄膜的電學(xué)表征。(A) 2 英寸石墨烯/藍(lán)寶石晶圓的方塊電阻圖;(B) 本工作中直接生長(zhǎng)石墨烯的薄層電阻與與文獻(xiàn)報(bào)道生長(zhǎng)結(jié)果的比較;(C) 石墨烯輸運(yùn)特性曲線;(D) 太赫茲時(shí)域光譜技術(shù)的遷移率測(cè)量。

 

 

獲得的準(zhǔn)單晶石墨烯薄膜在晶圓尺寸范圍內(nèi)具有非常均勻的面電阻,而且數(shù)值較低,僅為~600 Ω/□。這一結(jié)果遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于以往在絕緣襯底上的生長(zhǎng)結(jié)果,甚至好于在多晶銅箔、鎳箔等催化襯底上的生長(zhǎng)結(jié)果,接近于單晶銅襯底上的生長(zhǎng)結(jié)果。通過電輸運(yùn)表征,所生長(zhǎng)的石墨烯遷移率在4 K下達(dá)14,700 cm2 V–1 s–1,室溫下為9,500 cm2 V–1 s–1。太赫茲時(shí)域光譜表征進(jìn)一步表明當(dāng)分辨率為250 μm時(shí)遷移率依舊高于6,000 cmV–1 s–1,且具有很好的均勻性。這是迄今為止,常規(guī)絕緣襯底上直接生長(zhǎng)石墨烯的最好水平